CAS Number:75-73-0 基本信息 | |
中文名:81914 | 四氟甲烷; 四氟化碳 |
英文名:62091 | Carbon tetrafluoride |
别名: | Tetrafluoromethane; FC 14; Halocarbon 14; Refrigerant R 14 |
分子结构: |
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分子式: | CF4 |
分子量: | 88.00 |
75-73-0 | |
EINECS登录号: | 200-896-5 |
InChI: | 1S/CF4/c2-1(3,4)5 |
物理化学性质 | |
熔点: | -184ºC |
沸点: | -128ºC |
性质描述: | 无色无臭无味气体。熔点-150℃(-184℃),沸点128℃,密度1.96g/cm3。微溶于水。对热非常稳定,化学性质比四氯化碳更不活泼。 |
安全信息 | |
安全说明: | S38:在通风不良的场所,佩戴合适的呼吸装置。 |
危险类别码: | S38:在通风不良的场所,佩戴合适的呼吸装置。 |
危险品运输编号: | UN1982 |
msds报告: | 四氟甲烷msds报告 |
其他信息 | |
产品应用: | 用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。 |
生产方法及其他: | 由碳与氟反应,或一氧化碳与氟反应,或碳化硅与氟反应,或氟石与石油焦在电炉里反应,或二氟二氯甲烷与氟化氢反应,或四氯化碳与氟化银反应,或四氯化碳与氟化氢反应,都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行,反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体,再通过冷冻,用硅胶除去气体中的水分,最后经精馏而得成品。 |
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