CAS Number:76-16-4 基本信息 | |
中文名:21362 | 电子级六氟乙烷; 电子级六氟乙烷电子级氟碳;全氟乙烷;氟里昂116 |
英文名:1538 | Ethane,1,1,1,2,2,2-hexafluoro- |
别名: | Ethane,hexafluoro- (8CI,9CI); Ethyl hexafluoride; F 116; F 116 (fluorocarbon); FC 116; FC 1160; Freon 116; HFC 116; Hexafluoroethane; PFC 116; Perfluorocarbon 116; Perfluoroethane; R 116 |
分子结构: |
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分子式: | C2F6 |
分子量: | 138.01 |
76-16-4 | |
EINECS登录号: | 200-939-8 |
物理化学性质 | |
性质描述: | 电子级六氟乙烷(76-16-4)的性状: 1.无色,不可燃气体,不溶于水,溶于乙醇。沸点-78.2℃,熔点-100.6℃,临界温度19.7℃,常温下(19.7℃)是压缩气体。 2.化学性质不活泼,在600℃以下与石英不反应,在842℃下还不全部分解。在处理六氟乙烷过程中,可按无毒气体处理,但与可燃气体一同燃烧时,分解产生有毒的氟化物。 |
安全信息 | |
安全说明: | S38:在通风不良的场所,佩戴合适的呼吸装置。 |
msds报告: | 六氟乙烷msds报告 |
其他信息 | |
产品应用: | 电子级六氟乙烷(76-16-4)的用途: 用于微电子工业中仵等离子蚀刻气体,以及器件表面清洗、光纤生产、低温制冷。 |
生产方法及其他: | 1.电子级六氟乙烷(76-16-4)的制备方法: 1.采用活性炭直接氟化工艺路线。 2.在装有活性炭的反应炉中缓慢通入高浓氟气,通过控制电加热,供氟速率和冷却反应炉来控制反应温度。反应产物经过除尘、碱洗、脱水后,可获得含CF4 80%左右、含C2F6 10%~15%,含C3F8 4%~6%的粗品,然后把粗品混合物进行间歇低温精馏,在釜温为-45~-35℃提取C2F6,用分子筛进一步进行低温吸附脱水,可获得纯度大于99.7%的C2F6。 2.质量标准: 3.包装及贮运: 4.毒性与防护: 5.安全性: 1、疏水参数计算参考值(XlogP):2 2、氢键供体数量:0 3、氢键受体数量:6 4、可旋转化学键数量:0 5、常温常压下稳定避免氧化物,对环境有危害,对水体和大气可造成污染,对大气臭氧层有极强破坏力。常温,阴凉通风处。 |
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